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直流等离子电源系统 DCPS系列
发布时间:2020年02月11日
有 效 期:2020年08月12日
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详细说明
產品功能
.符合等离子特性的电气规格
.具备定功率,定电压,定电流
.内建电弧保护功能
.内建过电压,过电流,过热,过载等保护功能
.可用于单双火线的等离子系统
. PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (择一)
產品特色
.数位控制系统
.设定范围广
.高等离子密度
.可客制化洽询
應用產業
.真空镀膜制程之清洗处理
.等离子辅助化学沉积制程
.等离子辅助溅镀制程
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